উভয়ইভ্যাকুয়াম পাম্প এবং সংক্ষেপকগ্যাস প্রক্রিয়াজাতকরণের জন্য ডিভাইস, তবে তাদের কার্যকরী নীতি এবং প্রয়োগের সুযোগ আলাদা।
ভ্যাকুয়াম পাম্পের মূল কাজটি হ'ল পূর্বনির্ধারিত ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি অর্জনের জন্য ধারকটির চাপ কমাতে প্রতিক্রিয়া চেম্বার থেকে গ্যাস সরিয়ে ফেলা। ভ্যাকুয়াম রাষ্ট্র গঠনের জন্য স্তন্যপান এবং নিষ্কাশন ব্যবস্থার মাধ্যমে স্থান থেকে গ্যাস বের করা হয়। ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি সাধারণত পরীক্ষাগার, উত্পাদন এবং উত্পাদন ক্ষেত্রে ব্যবহৃত হয়। ওয়েফার ফ্যাবগুলিতে, এচিং সরঞ্জাম, জবানবন্দি সরঞ্জাম, ইইউভি লিথোগ্রাফি সরঞ্জাম, আয়ন ইমপ্লান্টেশন সরঞ্জাম, সনাক্তকরণ এবং বৈশিষ্ট্য সরঞ্জাম ইত্যাদি সমস্তকে শূন্য করা দরকার।
সংক্ষেপকটির কাজটি হ'ল গ্যাস নিঃশ্বাস নেওয়া এবং এটি সংকুচিত করা, গ্যাসের চাপ বাড়ানো, গ্যাসকে একটি ছোট পরিমাণে সংকুচিত করা এবং গ্যাসের ঘনত্ব এবং চাপ বাড়ানো। এর কার্যকরী নীতিটি হ'ল এক্সস্টাস্ট ভালভের মাধ্যমে গ্যাসকে সংকুচিত করা এবং তারপরে সংকুচিত গ্যাসকে একটি গ্যাস ট্যাঙ্ক বা অন্যান্য সরঞ্জামগুলিতে রাখা। কমপ্রেসারগুলি সাধারণত প্রক্রিয়াজাতকরণ এবং উত্পাদন ক্ষেত্রে ব্যবহৃত হয়। আমরা প্রায়শই যে সিডিএ গ্যাসের কথা বলি তা সংক্ষেপক দ্বারা সরবরাহ করা হয়। সিডিএ বিভিন্ন অটোমেশন সরঞ্জাম এবং ভালভ নিয়ন্ত্রণ করতে ব্যবহৃত হয়। অর্ধপরিবাহী উত্পাদন জন্য, সিডিএ অবশ্যই খুব খাঁটি এবং শুকনো হতে হবে। সংক্ষেপক দ্বারা বায়ু আউটপুটটি ওয়েফারের কোনও দূষণ না হওয়ার বিষয়টি নিশ্চিত করতে তেল, আর্দ্রতা এবং অন্যান্য কণাগুলি অপসারণ করতে একটি পরিশীলিত পরিস্রাবণ সিস্টেমের মধ্য দিয়ে যেতে হবে।
বিভাগ কিভ্যাকুয়াম পাম্প এবং সংক্ষেপক?
অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলিতে, শুকনো পাম্প এবং আণবিক পাম্পগুলি সাধারণত ব্যবহৃত হয়। একটি শুকনো পাম্প একটি ভ্যাকুয়াম পাম্পকে বোঝায় যা কোনও তরল সিলিং বা শীতল মাধ্যম হিসাবে ব্যবহার করে না, তেল বাষ্প দূষণের সমস্যা এড়িয়ে। এটি সাধারণত অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলির রুক্ষ ভ্যাকুয়াম নিষ্কাশনের জন্য ব্যবহৃত হয়। আণবিক পাম্পগুলি অত্যন্ত উচ্চ ভ্যাকুয়াম স্তর অর্জন করতে পারে। শুকনো পাম্প এবং আণবিক পাম্পগুলি প্রায়শই বিভিন্ন ভ্যাকুয়াম স্তরের প্রয়োজন মেটাতে অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলিতে সংমিশ্রণে ব্যবহৃত হয়।
কমপ্রেসারগুলি পিস্টন, স্ক্রু, সেন্ট্রিফুগাল, রোটারি ভেন এয়ার সংক্ষেপক ইত্যাদি বিভক্ত করা যেতে পারে
ভ্যাকুয়াম পাম্প এবং সংক্ষেপকের বিভিন্ন নকশা এবং কার্যনির্বাহী নীতিগুলির কারণে, ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি সাধারণত সংক্ষেপকগুলি প্রতিস্থাপন করতে পারে না। যদিও ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি গ্যাসের চাপ এবং ঘনত্ব হ্রাস করতে পারে তবে তারা গ্যাসগুলিকে ছোট পরিমাণে এবং উচ্চতর চাপগুলিতে সংকুচিত করতে পারে না। তদতিরিক্ত, ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলির সীমিত কর্মক্ষমতা এবং কার্যকারী বৈশিষ্ট্যের কারণে, তারা কম ঘনত্বের গ্যাস এবং নিম্ন-চাপ পরিবেশ পরিচালনা করার পক্ষে সবচেয়ে উপযুক্ত।
অতএব, যদি গ্যাসকে একটি ছোট ভলিউম এবং উচ্চতর চাপে সংকুচিত করা প্রয়োজন, তবে একটি সংক্ষেপক ব্যবহার করা উচিত। বিপরীতে, যদি গ্যাসটি উত্তোলনের প্রয়োজন হয় এবং একটি ভ্যাকুয়াম রাষ্ট্র গঠিত হয় তবে একটি ভ্যাকুয়াম পাম্প ব্যবহার করা উচিত।
যদিও উভয়ইভ্যাকুয়াম পাম্প এবং সংক্ষেপকগ্যাস প্রক্রিয়া করার জন্য ব্যবহৃত ডিভাইসগুলি, নকশা এবং কাজের নীতিতে দুর্দান্ত পার্থক্য রয়েছে। যদিও ভ্যাকুয়াম পাম্প গ্যাসের চাপ এবং ঘনত্ব হ্রাস করতে পারে, এটি সংক্ষেপকটিকে প্রতিস্থাপন করতে পারে না, বিশেষত যখন গ্যাসকে একটি ছোট ভলিউম এবং উচ্চ চাপে সংকুচিত করা দরকার।
